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當今半導體行業正在蓬勃發展如5G、物聯網(loT)、人工智能(AI)、電動汽車、互聯醫療設備、工業機器人等。這些技術複雜的應用通常需要更快的處理速度和更低的功耗,從而需要更複雜的製造工藝。許多工藝的製造精度現在降至 3 納米以下,這意味著即使是最小的污染物也可能導致產品缺陷和產量損失。這些系統必須可靠運行才能滿足需求。