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ISO 14644-1:2015 無塵室規範——打造高潔淨度環境的關鍵標準 (Cleanrooms and Associated Controlled Environments)
ISO 14644-1:2015 無塵室規範——打造高潔淨度環境的關鍵標準 (Cleanrooms and Associated Controlled Environments)
ISO 14644-1:2015
機械設備與Lubricant Grease 靜置在無塵室時，不會產生發塵情況，即不會產生空氣中的微粒airborne particles。
機械設備運轉操作時因其諸多設計元素規格與Lubricant Grease 的黏度/溫度…等規格選用的搭配，才得以測出該設備系統在操作狀態下，對應出符合半導體或面板業界的無塵室標準作業中particls 的ISO class 等級。
ISO 14644-1:2015
規定無塵室空氣懸浮顆粒濃度的空氣潔淨度class 等級
SGS 官網的無塵室空氣particle class等級檢測依循ISO 14644-1:2015
（Resource from www.sgs.com.tw）
SGS 的無塵室particle class等級檢測範例其測試流程說明如下: |
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|---|---|---|
| 1. 測試環境 | 無塵室條件：ISO 3 級； 0.1 微米 & 0.3 微米。 溫度20±2℃，相對濕度50±10％。 |
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| 2. 測試流程 | 3.1.背景測試：未開機前以無塵室內的空氣，測量5 次取平均值。 3.2 運行測試：打開設備模擬操作，用塵埃粒子計數器測量particle 顆粒，操作時間為五分鐘。 |
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ASTM E595真空釋氣測試是什麼？
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